不受樣品氣體壓力的影響，經過預處理減壓除水除塵等手段，進行測量，精度比氧化鋯高。
   價格也貴，平時預處理的維護占主要工作，還需要有一些備件支持。
   在加熱爐應用中，此類儀表也可以進行測量，應該范圍更加廣泛些。

順磁法是一種基于氧氣分子具有順磁性的原理來測量氧氣濃度的方法。氧濃度分析儀中的順磁傳感器通常包括一個磁場發生器和一個磁感應器。當氧氣分子通過磁場時，會受到磁場的作用而發生偏轉，從而產生一個與氧氣濃度成正比的信號。通過測量該信號的大小，可以推算出氧氣濃度。